Научная электронная библиотека
Монографии, изданные в издательстве Российской Академии Естествознания
1.1.3. Способ электронно-ионного испарения углерода
Впервые методом электронно-лучевой возгонки были получены УНТ в 1992 г. Для возгонки применялся высоко чистый графит (99,99 %) осаждаемый в ходе процесса на различных подложках (кремний, кварц, графит, керамика, анодированный алюминий) [41].
Воздействие ионов аргона с энергией ~ 60 кэВ на поверхность высоко чистого графита приводит к образованию УНТ. Так же для получения УНТ применялись пучки ионов Ne+, Кr+ и Хе+ с энергией более 150 эВ.
В Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН разработаны технологические операции способа получения углеродных наноматериалов включая подготовку поверхности подложки, нанесение фуллереновой пленки, ее облучение электронами, осуществляют в сверхвысоком вакууме в режиме постоянного контроля методом спектроскопии характеристических потерь энергии рассеянных электронов [42]. С помощью предлагаемого способа можно создавать квантовые проволоки, точки, затворы полевых транзисторов и другие элементы приборных структур.
Выводы. Данный способ имеет очень низкую производительность и ограниченное применение в крупномасштабных производствах. Так же реализация данного способа требует сложного и дорогостоящего оборудования.